Micro-ElectroMechanicalSystems（MEMS傳感器）的全名是小型電子機械傳感器，它是在半導體材料制造技術性的基本上發展壯大下去的，根據應用IC生產加工技術性，在硅基圓晶上制造小型機械設備，并與相對的電源電路集成化，進而達到與傳統式傳感器同樣的認知作用例如扭力傳感器。

μm級乃至納米的機電工程系統軟件MEMS傳感器微型壓力傳感器，因為選用電子器件生產加工技術性，以其小型化、易集成化、智能化系統、低成本、耗能低、可大批量生產等優點，被稱作“智能化浮塵”，解決了自3G通訊發展趨勢至今，消費性電子設備對傳感器體型小、特性高問題，也促進了消費性電子器件產業鏈的暴發。

依據認知基本原理微型稱重傳感器有各種類型，分為物理學傳感器、有機化學傳感器和微生物傳感器，在其中以聲、光、電、磁、力、速率、溫度等物理學傳感器類型豐富多彩。依據傳感器信息內容的不一樣，可分為速率傳感器、工作壓力、磁性、溫度、環境濕度等傳感器；依據運用作用的不一樣，可分為輪胎氣壓傳感器、手機陀螺儀、稱重壓力傳感器、扭力傳感器等；依據是不是必須配電，可分為積極傳感器和處于被動傳感器。運用范疇普遍的MEMS傳感器包含車輛、消費電子產品、診療、航空公司、通信、工業生產、物流倉儲等眾多行業。依據Yole的數據信息，2019年全球MEMS市場容量為169.6億美金，在其中中國市場容量為597.8億人民幣?，F階段MEMS傳感器關鍵以智能機和汽車電子產品為主導，伴隨著5G、物聯網技術/車聯網平臺及其人工智能技術等新技術的進一步發展趨勢，在我國對MEMS傳感器的需求量將發生新一波強悍提高。

我們都是MEMS傳感器的消費的國 家，而非生產性強國。雖然MEMS傳感器在近20年的時間段里全方位邁向交易行業，但因為MEMS傳感器制造綜合性了原材料、構造、結構力學、微電子學、電子光學等課程，融合電子器件制造加工工藝、封裝測試工藝、成本費、大批量化運用等具體要求，對產學研用明確提出了很高的規定，無論在專利權、產品研發時間或是制造加工工藝層面，進到門坎都很高。MEMS經銷商有博世、意法半導體、惠普、德州儀器、cannon、InvenSense、美、日歐房地產業電子器件等。盡管現在中國MEMS傳感器還處在全方位超越環節，但已基本上產生了完善的全產業鏈，發展前途寬闊。